類型 | 品名 | 規格 | 純度 工藝 | 工藝 |
陶瓷靶材 | Nb2O5 | 按客戶需求定制 | 99.99% | 噴涂、CIP+燒結 |
SiO2 | 99.999% | 熔煉 | ||
Al2O3 | 99.99% | 燒結 | ||
HfO2 | 99.99% | 燒結 | ||
Ta2O5 | 99.99% | 燒結 | ||
合金靶材 | SiZr | 99.99% | 噴涂 | |
單質靶材 | Si | 99.999% | 拉晶生長、噴涂、燒結 | |
Nb | 99.95% | 燒結、熱等靜壓 | ||
Ta | 99.95% | 熱等靜壓 | ||
Hf | 99.9% | 熱等靜壓 | ||
Zr | 99.9% | 熔煉 | ||
Al | 99.999% | 熔煉 | ||
Cr | 99.95% | 熱等靜壓 | ||
Ti | 99.999% | 熱等靜壓 |